薄膜功能材料摘要
近年来信息科学的飞速发展也带动了薄膜材料的发展,例如计算机对高密度、大容量、高速度、小体积、低成本的信息存储设备不断提出更高要求,而各种记录用薄膜如磁性薄膜的发展则是关键问题之一,这是薄膜材料的一个重要应用领域和发展动力,也是竞争最激烈、发展最快的领域。
主要讲的人物和事物
薄膜功能材料主要讲的人物和事物有:、材料、薄膜、记录、电阻、信息、磁头、采用、磁电阻、变化、密度。
薄膜功能材料是什么类型的小说?
薄膜功能材料的小说类型是探险小说主要内容。
薄膜功能材料的作者是谁?
薄膜功能材料的作者是:佚名。
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近年来由于纳米技术的发展,各种新型功能薄膜不断涌现,各项性能指标不断改进,因此,我们介绍的是薄膜功能材料领域一部分。
一、*薄膜
材料是各种传感器的关键部分,是利用材料在一定环境中性能主要是电学性能)变化的特性来进行测量的元件。
以前*元件大多为块体材料,近年来由于薄膜材料是选择比较容易,制作工艺较简单,且易于实现微型化和集成化,因而薄膜*元件引起了人们越来越多的研究。
薄膜*材料种类很多,这里仅举几个典型的例子。
热敏薄膜元件是利用材料性能随温度的改变,最常用的是电阻的变化,例如在AL2O3基片上制备叉指电极后溅射上SiC模就构成了SiCAIG
薄膜热敏电阻,SiC膜就构成了SiC薄膜热敏电阻,SiC热敏电阻环境稳定性好,可用于各种恶劣环境。
在Al2O3或玻璃基片上镀上0。
1~1mm厚的铂薄膜,再经精细加工成所需形状就构成铂薄膜热敏电阻,用这种方法得到的铂薄膜电阻值范围可达10~10kΩ,其电阻值精确,温度系数是常数,稳定性也很好,因此是一种很好的热敏元件。
采用阳极氧化方法制成的多孔氧化铝膜,当细孔吸附水分子时阻抗就会发生变化,根据这个性能可以制成湿度传感器。
这种传感器响应速成率快,在相对湿度10%~90%范围有线性输出,因而得到广泛应用。
此外阳极氧化Ta2O3膜和蒸镀Se膜、Ge膜也用来做湿度传感器。
利用材料吸附气体后性能的变化可制成各种气敏元件,例如,应用半导体材料吸附气体后电导率的变化等。
由于环境监测、气体泄漏监测、汽车发动机等方面的需要,气敏材料近来年研究的比较多,例如对一氧化碳*的SnO2薄膜;对乙醇蒸气*的SnO2和ZnO薄膜,对氢*的TiO2、ZnO和WO3AIG
薄膜,对大气污染的NO2测定用的固溶微量Ag的V2O5薄膜等。
为了使汽车燃料充分烯烧,减少污染,促进氧敏材料的研究,半导体氧敏材料主要有SrTiO3、CeO2、Nb2O5等;固本电解质材料构成的电极吸附气体后电极电位会发生变化,已经利用ZrO2、LaF3等材料的这种性质做成氧敏元件,并已得到很多应用。
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